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光學(xué)平臺(tái)和光學(xué)機(jī)械
電動(dòng)位移臺(tái)
UST 系列超高精密電動(dòng)平移臺(tái)
●高品質(zhì)鋁合金底座配合精密磨削工藝,保證平移臺(tái)的精度和穩(wěn)定性●內(nèi)置進(jìn)口光柵尺,閉環(huán)分辨率可達(dá) 0.1μm●采用進(jìn)口 C3 級(jí)滾珠絲杠,保證超高精度●采用進(jìn)口交叉滾柱導(dǎo)軌,保證超高運(yùn)動(dòng)直線度和平行度,負(fù)載大●標(biāo)配三相步進(jìn)電機(jī),聲音小且運(yùn)行平穩(wěn)
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UST 系列是一款超高精密電動(dòng)平移臺(tái),該系列產(chǎn)品傳動(dòng)機(jī)構(gòu)采用進(jìn)口 C3 級(jí)滾珠絲杠,主體材料采用優(yōu)質(zhì)鋁合金,底座和導(dǎo)軌安裝面經(jīng)過精密磨削工藝和三次時(shí)效處理,配合進(jìn)口交叉滾柱導(dǎo)軌、高品質(zhì)聯(lián)軸器、三相步進(jìn)電機(jī)等部件,保證該系列產(chǎn)品具有很高的運(yùn)動(dòng)精度和定位精度。該系列產(chǎn)品內(nèi)置進(jìn)口光柵尺,配合 GMC-USB 系列控制器,可實(shí)現(xiàn)全閉環(huán)反饋控制,閉環(huán)分辨率可達(dá)0.1μm。該系列產(chǎn)品行程有50mm、100mm、200mm 三種,可單獨(dú)使用,也可組維使用,該系列產(chǎn)品適合超精密激光微加工、超精密掃描定位、飛秒延遲線等應(yīng)用。
型號(hào) | UST50X-S357 | UST100X-S357 | UST200X-S357 |
行程 (mm) | 50 | 100 | 200 |
臺(tái)面尺寸 (mm) | 245×180 | 295×180 | 400×180 |
傳動(dòng)機(jī)構(gòu) | 進(jìn)口 C3 級(jí)滾珠絲杠 | ||
導(dǎo)向機(jī)構(gòu) | 進(jìn)口交叉滾柱導(dǎo)軌 | ||
主體材料及表面處理 | 鋁合金,黑色陽極氧化 | ||
閉環(huán)分辨率 (μm) | 0.1 | ||
重復(fù)定位精度 (μm) | ≤ ±1 | ||
回程間隙 (μm) | ≤1 | ||
直線度 (μm/100mm) | ≤5 | ≤6 | ≤ 10 |
平直度 (μm/100mm) | ≤5 | ≤6 | ≤ 10 |
最大速度 (mm/s) | 40 | ||
水平負(fù)載 (Kg) | 30 |
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